TY - CONF T1 - Device quality SiO2 films by liquid phase deposition (LPD) at 48掳C JO - Materials Research Society Symposium - Proceedings PY - 2011/02/01 AU - Manhas M AU - Pease TJ AU - Cross R AU - Bose SC AU - Oxley DP AU - De Souza MM AU - Sankara Narayanan EM ED - DO - DOI: 10.1557/proc-716-b7.9 VL - 716 SP - 317 EP - 323 Y2 - 2025/05/27 ER -