TY - JOUR T1 - Electron energy loss spectroscopy of nano-scale CrAlYN/CrN-CrAlY(O)N/Cr(O)N multilayer coatings deposited by unbalanced magnetron sputtering JO - THIN SOLID FILMS PY - 2010/07/01 AU - Ross IM AU - Rainforth WM AU - Seabourne CR AU - Scott AJ AU - Wang P AU - Mendis BG AU - Bleloch AL AU - Reinhard C AU - Hovsepian PE ED - DO - DOI: 10.1016/j.tsf.2010.03.012 VL - 518 IS - 18 SP - 5121 EP - 5127 Y2 - 2025/06/20 ER -